新凯来工业机器取得可调整气流通道大小数量和分布导流组件及半导体设备专利，提高生产效率
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2025-08-23 15:11:29
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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司取得一项名为“导流组件及半导体设备”的专利，授权公告号CN223260544U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种导流组件及半导体设备，涉及半导体技术领域，解决生产效率较低的技术问题。该导流组件包括第一环状主体、第二环状主体、多个挡板，以及与多个挡板传动连接的至少一个驱动件；第二环状主体设置在第一环状主体外，且与第一环状主体间隔设置，第二环状主体朝向第一环状主体的表面上设置有间隔设置的多个容纳槽，每个容纳槽内设置有一个挡板，至少一个驱动件驱动多个挡板中的一个或者多个靠近或者远离第一环状主体。本申请实施例中，通过调整伸出容纳槽的挡板的位置和数量，可以调整气流通道的大小、数量和分布，在无需开腔进行更换的基础上改变反应腔室内的流导，提高生产效率。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息134条，此外企业还拥有行政许可12个。
来源：金融界
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