上海新微申请一种双传感器微机电器件及其制备方法专利，双传感器微机电器件体积较小
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2025-08-26 09:33:08
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金融界2025年8月26日消息，国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“一种双传感器微机电器件及其制备方法”的专利，公开号CN120534921A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供了一种双传感器微机电器件及其制备方法，属于微机电器件技术领域。该双传感器微机电器件包括依次层叠布置的加速度计的金属电极、顶部集成结构、电学隔离层、第一金属键合环和红外探测器；顶部集成结构包括晶圆基体，晶圆基体内设有第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体内分别设有加速度计功能结构和红外探测光栅结构；电学隔离层设置有与第一腔体连通的第一中间腔体，以及与第二腔体连通的第二中间腔体；红外探测器设有凹槽区域和包括感应部件的功能区域，凹槽区域与第一中间腔体连通，功能区域与第二中间腔体连通；加速度计功能结构和红外探测光栅结构所在空间互相隔离。
天眼查资料显示，上海新微技术研发中心有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了21家企业，参与招投标项目481次，财产线索方面有商标信息52条，专利信息713条，此外企业还拥有行政许可43个。
来源：金融界
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