截至2025年10月13日 14:23，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.49%，成分股富创精密(688409)上涨9.19%，沪硅产业(688126)上涨9.02%，中科飞测(688361)上涨8.41%，龙图光罩(688721)，芯源微(688037)等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨2.26%，最新价报1.54元。拉长时间看，截至2025年10月10日，科创半导体ETF近2周累计上涨1.90%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手24.46%，成交7.05亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至10月10日，科创半导体ETF近1周日均成交8.98亿元，排名可比基金第一。

规模方面，科创半导体ETF最新规模达28.64亿元，创成立以来新高，位居可比基金1/3。

份额方面，科创半导体ETF最新份额达19.09亿份，创成立以来新高，位居可比基金1/3。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入1.61亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”5.08亿元，日均净流入达1.27亿元。

跟踪精度方面，截至2025年10月10日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.005%，在可比基金中跟踪精度最高。

科创半导体ETF紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2025年9月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为中微公司(688012)、华海清科(688120)、拓荆科技(688072)、沪硅产业(688126)、安集科技(688019)、中科飞测(688361)、芯源微(688037)、盛美上海(688082)、华峰测控(688200)、天岳先进(688234)，前十大权重股合计占比74.36%。

科创半导体ETF(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。

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