华丞电子申请一种压力检测方法及半导体工艺设备专利，避免压力检测值突变
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2025-05-21 18:10:40
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金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，北京华丞电子有限公司申请一项名为“一种压力检测方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120008782A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本发明提供了一种压力检测方法及半导体工艺设备，该压力检测方法包括：获取当前进行压力检测的第一目标传感器的第一压力检测值，判断第一压力检测值是否大于等于第一目标传感器的融合起点且小于第一目标传感器的融合终点；当第一压力检测值大于等于第一目标传感器的融合起点且小于第一目标传感器的融合终点时，获取第二目标传感器的第二压力检测值；对第一压力检测值和第二压力检测值进行融合计算，得到最终压力检测值。本发明可以避免由小量程压力传感器切换至大量程压力传感器检测压力时，出现压力检测值突变问题，提升了压力检测精度，保证了压力控制过程的稳定性，避免由于压力波动影响工艺结果。
天眼查资料显示，北京华丞电子有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2090.584311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华丞电子有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目124次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息209条，此外企业还拥有行政许可42个。
来源：金融界
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