上海积塔半导体申请半导体结构制备方法专利，使浅沟槽隔离结构表面保持平整
创始人
2025-05-22 10:37:58
0次
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司申请一项名为“半导体结构的制备方法”的专利，公开号CN120015693A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本申请涉及一种半导体结构的制备方法，包括：提供衬底，所述衬底中具有若干沟槽；在所述沟槽中和所述衬底上形成隔离介质层，所述隔离介质层的背离所述衬底的表面具有凹陷区和凸起部；在所述沟槽中和所述衬底上形成隔离介质层，所述隔离介质层的背离所述衬底的表面具有凹陷区和凸起部；对所述隔离介质层和所述覆盖层进行退火；采用化学机械研磨工艺去除所述覆盖层和部分所述隔离介质层，在所述沟槽中形成浅沟槽隔离结构。本申请的方法使得最终在衬底的不同区域形成的浅沟槽隔离结构的表面保持平整（消除了不同浅沟槽隔离结构的高度差）。
天眼查资料显示，上海积塔半导体有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1690740.3918万人民币。通过天眼查大数据分析，上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1818次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息1090条，此外企业还拥有行政许可191个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
小米高管回应玄戒O1芯片质疑：...
红星资本局5月22日消息，今日，小米产业投资部合伙人潘九堂发微博回应网上有关小米玄戒O1芯片的质疑称...
嘉艺电子申请薄膜开关性能检测设...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，广州市嘉艺电子薄膜开关有限公司申请一项名为“...
计算机设备板块盘中走弱，微创光...
5月22日，计算机设备板块盘中下跌1.5%，微创光电领跌6.41%，智莱科技、视声智能、狄耐克跌超5...
华为申请显示方法及电子设备专利...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，华为技术有限公司申请一项名为“显示方法及电子...
军工电子板块持续拉升，国睿科技...
军工电子板块持续拉升，国睿科技、四创电子涨停，国科天成、国光电气、国博电子、雷电微力、航天南湖等跟涨...
铂科新材：公司芯片电感的核心在...
证券之星消息，铂科新材(300811)05月21日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
富林泰克传感器PC46-100...
扭矩感应器是一种用于测量旋转扭矩的设备，它能将扭矩转换为电信号，方便进行精确的测量与控制。扭矩感应器...
5G基站选择±10ppm晶振及...
在5G通信技术飞速发展的时代，5G基站作为核心基础设施，其性能的优劣直接影响着整个通信网络的质量。晶...
冠瑞达申请一种保险丝的加工装置...
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市冠瑞达电子科技有限公司申请一项名为“一...
旭光电子上涨5.13%，报9....
5月22日，旭光电子盘中上涨5.13%，截至09:53，报9.43元/股，成交2.4亿元，换手率3....