北方华创申请工艺任务的启动控制方法及半导体工艺设备专利，提高半导体工艺设备的整体利用率和产能
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2025-11-24 10:09:34
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺任务的启动控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN 120993855 A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种工艺任务的启动控制方法及半导体工艺设备。其中，该方法包括：获取已启动和待启动工艺任务列表，已启动工艺任务列表中包括仍在工艺区执行的已启动工艺任务，待启动工艺任务列表中包括待启动工艺任务；确定各待启动工艺任务的启动优先级权重，启动优先级权重与待启动工艺任务与各已启动工艺任务的干涉概率相关；根据各待启动工艺任务的启动优先级权重，确定目标待启动工艺任务；对目标待启动工艺任务和各已启动工艺任务所有未完成的移动动作，进行调度规划。本申请避免了半导体工艺设备某些工艺模块长时间闲置，提高了半导体工艺设备的整体利用率和产能。
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