英杰电气：射频电源已配套中微公司刻蚀机
创始人
2026-01-22 17:15:21
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证券之星消息，英杰电气(300820)01月22日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问：有消息传言公司射频电源已实现5nm及以下先进制程量产，精度达纳米级（误差＜0.1nm），成功配套中微公司刻蚀机、北方华创PECVD设备，切入新凯来离子注入机供应链，实现对长江存储、中芯国际等头部晶圆厂批量供货，部分产品替代日本ULVAC等海外厂商，国内市占率超30%。请问是否属实
英杰电气回复：您好，就您的问题回答如下：一、公司射频电源产品现阶段已配套应用于中微公司刻蚀机、拓荆科技 PECVD 设备等核心半导体设备，其余您提及的相关企业，部分确为公司客户，但目前尚未实现批量供货。 二、公司射频电源产品具备国产替代属性，但现阶段仅实现部分型号的进口替代，尚未完成全系列产品的替代布局。 三、根据公司掌握的信息，目前行业内尚无射频电源领域准确的市占率统计数据，您提到的数据信息可能缺乏客观数据支撑。 需要提醒的是：射频电源作为半导体设备核心零部件，技术壁垒较高，目前国内多家企业均在布局半导体先进制程环节的射频电源研发，行业国产替代进程正有序推进。但同时也有功率控制精度、阻抗匹配等多项核心技术难题亟待持续攻关；研发投入大且周期长，产品验证及批量供货存在不确定性等因素，请广大投资者注意投资风险，以上内容仅供您参考，谢谢您的关注和支持。
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