英杰电气：射频电源已配套中微公司刻蚀机_电子百科

英杰电气：射频电源已配套中微公司刻蚀机

创始人

2026-01-22 17:15:21

0次

证券之星消息，英杰电气(300820)01月22日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：有消息传言公司射频电源已实现5nm及以下先进制程量产，精度达纳米级（误差＜0.1nm），成功配套中微公司刻蚀机、北方华创PECVD设备，切入新凯来离子注入机供应链，实现对长江存储、中芯国际等头部晶圆厂批量供货，部分产品替代日本ULVAC等海外厂商，国内市占率超30%。请问是否属实

英杰电气回复：您好，就您的问题回答如下：一、公司射频电源产品现阶段已配套应用于中微公司刻蚀机、拓荆科技 PECVD 设备等核心半导体设备，其余您提及的相关企业，部分确为公司客户，但目前尚未实现批量供货。二、公司射频电源产品具备国产替代属性，但现阶段仅实现部分型号的进口替代，尚未完成全系列产品的替代布局。三、根据公司掌握的信息，目前行业内尚无射频电源领域准确的市占率统计数据，您提到的数据信息可能缺乏客观数据支撑。需要提醒的是：射频电源作为半导体设备核心零部件，技术壁垒较高，目前国内多家企业均在布局半导体先进制程环节的射频电源研发，行业国产替代进程正有序推进。但同时也有功率控制精度、阻抗匹配等多项核心技术难题亟待持续攻关；研发投入大且周期长，产品验证及批量供货存在不确定性等因素，请广大投资者注意投资风险，以上内容仅供您参考，谢谢您的关注和支持。

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

电气产品信息电源供货公司广大投资者设备配套英杰刻蚀机英杰电气中微公司射频电源批量

上一篇：瑞银：中国半导体国产化提速，两地上市助力半导体企业价值重估

下一篇：12月15日电池ETF（561910）份额增加3900.00万份，最新份额69.77亿份，最新规模55.49亿元

英杰电气：射频电源已配套中微公司刻蚀机

相关内容

热门资讯