铠侠申请半导体存储装置专利，提高动作的可靠性
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2026-01-31 22:42:34
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国家知识产权局信息显示，铠侠股份有限公司申请一项名为“半导体存储装置”的专利，公开号CN121442696A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体存储装置，其能够提高动作的可靠性。实施方式的半导体存储装置具备：第1多个字线，积层于衬底的上方；第2多个字线，积层于第1多个字线的上方；选择栅极线，设置于第2多个字线的上方；中间柱(MMP)，设置于衬底的上方，沿Z方向贯穿第1多个字线；及上部柱(UMP)，设置于中间柱(MMP)的上方，沿Z方向贯穿第2多个字线与选择栅极线。第2多个字线具有：上层字线(UU)，配置于上部柱(UMP)的上层部的周围；中层字线(UM)，配置于上层部之下的中层部的周围；及下层字线(UL)，配置于中层部之下的下层部的周围；且上层字线(UU)的膜厚厚于中层字线(UM)的膜厚。
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来源：市场资讯
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