拓荆科技获得发明专利授权：“压力控制系统及半导体设备”
创始人
2026-02-18 04:12:02
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“压力控制系统及半导体设备”，专利申请号为CN202210914440.2，授权日为2026年2月17日。
专利摘要：本申请提供了一种压力控制系统及半导体设备，压力控制系统包括：腔体、压力计、第一调节阀和第二调节阀；压力计用于实时检测腔体内部的压力信号，并将压力信号发送至第一调节阀；通过调整第二调节阀的开度，以使第一调节阀的开度进入预设开度范围，与压力计形成闭环控制，使压力计采集的压力信号达到指定值；预设开度范围包括：压力可控的第一开度范围或者控制精度最好的第二开度范围。本申请通过设置与第一调节阀串联的第二调节阀，能够在第一调节阀的开度过大或过小时，通过调整第二调节阀的开度，使第一调节阀的开度工作于压力可控范围，甚至工作于控制精度最好的开度范围内，而且可以提高不同半导体设备间的一致性。
今年以来拓荆科技新获得专利授权4个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。
通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目104次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息741条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可38个。
数据来源：天眼查APP
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