神州半导体申请具有脉冲同步功能的多频匹配系统专利，提高半导体工艺的稳定性和一致性
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2026-03-20 00:19:34
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国家知识产权局信息显示，江苏神州半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种具有脉冲同步功能的多频匹配系统及方法”的专利，公开号CN121690152A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种具有脉冲同步功能的多频匹配系统及方法，包括：中央控制单元、脉冲同步模块、射频电源、频率通道、检测模块；所述中央控制单元与所述脉冲同步模块和所述检测模块通信连接；所述脉冲同步模块与所述射频电源连接；所述射频电源与所述频率通道连接；所述频率通道与所述检测模块连接，其中，所述脉冲同步模块包括主触发信号分发单元和独立可调的延迟子单元，每个延迟子单元对应一个所述频率通道。本发明的方案能够解决不同频率射频功率到达工艺腔体时间不同步、不可控的问题，从而提高半导体工艺的稳定性和一致性。
天眼查资料显示，江苏神州半导体科技股份有限公司，成立于2016年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6600万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目33次，财产线索方面有商标信息27条，专利信息200条，此外企业还拥有行政许可25个。
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来源：市场资讯
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