中微半导体申请半导体处理设备及其基板姿态调整装置和方法专利，优化基板表面处理时的均匀性_电子技术

中微半导体申请半导体处理设备及其基板姿态调整装置和方法专利，优化基板表面处理时的均匀性

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2026-06-23 16:31:53

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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“半导体处理设备及其基板姿态调整装置和方法”的专利，公开号CN122270104A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体处理设备及其基板姿态调整装置和方法；所述基板姿态调整装置设有动子板、承载板和连接在两者之间的中心柱，还设有多个线性致动器和各自具有三个转动自由度的多个虎克铰链；每个线性致动器用于驱使该线性致动器的移动部件沿该线性致动器的致动方向做直线运动；每个线性致动器的移动部件通过对应的虎克铰链与动子板连接；这些移动部件做直线运动时的行程可独立调整；配合控制若干移动部件的行程位置，可以使动子板处于倾斜状态，并通过中心柱带动承载板和由承载板支撑的基板倾斜，实现对基板倾斜度的调整，从而优化基板表面处理时的均匀性。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目87次，财产线索方面有商标信息85条，此外企业还拥有行政许可88个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业调整投资上海子板线性设备处理姿态导体承载板动子板致动器基板

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