东方晶源微电子科技申请电子显微镜光阑校准方法等专利，有效提高电子显微镜的光阑对中的校准精准度_电子技术

东方晶源微电子科技申请电子显微镜光阑校准方法等专利，有效提高电子显微镜的光阑对中的校准精准度

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2025-06-03 20:35:01

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金融界2025年6月3日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“一种电子显微镜的光阑校准方法、装置以及存储介质”的专利，公开号CN120084212A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本申请实施例提供了一种电子显微镜的光阑校准方法、装置以及存储介质，包括：通过目标电子显微镜获取目标晶圆对应的正焦采集图像、欠焦采集图像以及过焦采集图像。确定正焦采集图像、欠焦采集图像以及过焦采集图像中的共同图像特征。根据共同图像特征，确定欠焦采集图像和过焦采集图像相对正焦采集图像的图像偏移值，根据图像偏移值，对目标电子显微镜进行光阑对中校准。通过本申请实施例所提供的技术方案在有效统一了对电子显微镜进行光阑对中校准的校准标准的同时，还有效提高了电子显微镜的光阑对中的校准精准度，使得后续通过电子显微镜进行半导体芯片的关键尺寸检测时的检测精度和检测效率也获得一定程度上的提升。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息158条，专利信息297条，此外企业还拥有行政许可18个。

来源：金融界

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