浙江赛瑾半导体申请底座可清洗光罩盒专利，可避免清洗底座时金属离子污染
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2025-05-15 12:34:18
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金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，浙江赛瑾半导体科技有限公司申请一项名为“一种底座可清洗的光罩盒”的专利，公开号CN119987124A，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体载具技术领域，特别涉及一种底座可清洗的光罩盒，其包括底座，锁止机构。所述锁止机构包括转动盘，弹性连接件，锁止板。所述转动盘包括盘体，连接柱，滑动槽。与现有技术相比，本发明通过设置塑料或者橡胶材质制成的所述弹性连接件，实现开合自锁的同时避免了酸洗时产生金属离子污染，使得所述底座可以进行清洗，同时适用于酸碱环境。设置所述弹性限位柱的排列方向与所述锁止板的运动方向垂直，缩短所述弹性连接件的长度，使得塑料或者橡胶材质制成的所述弹性连接件的结构强度满足使用要求。并通过设置所述滚轮与锁紧斜块，防止塑料或者橡胶材质制成的所述弹性连接件强度不够无法对所述锁止板进行支撑的情况。
天眼查资料显示，浙江赛瑾半导体科技有限公司，成立于2022年，位于嘉兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2848.95万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江赛瑾半导体科技有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息52条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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