黑曼巴半导体申请用于半导体研磨单元的平整器检测设备专利,检测效率高
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2025-06-07 10:07:12
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金融界2025年6月7日消息,国家知识产权局信息显示,黑曼巴半导体(无锡)有限公司申请一项名为“一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备”的专利,公开号CN120095652A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本发明提供一种用于半导体研磨单元的平整器的检测设备,属于半导体研磨单元的平整器检测技术领域,包括中空底座,所述中空底座的上表面设置有安装架,且安装架设置有两个,两个所述安装架的内顶部均设置有激光干涉仪,所述中空底座的内部设置有传送机构,且传送机构上设置有夹持固定机构,且夹持固定机构设置有若干组,所述夹持固定机构包括方形安装块;通过设置的夹持固定机构,能够稳定的夹持固定平整器,继而顺利的将平整器移送至激光干涉仪处进行检测,接着在移送至第二个激光干涉仪之前,通过设置的翻转机构,能够将平整器翻转一百八十度,继而使得第二个激光干涉仪对平整器的另一个面进行检测,操作简单快捷,检测效率高。

天眼查资料显示,黑曼巴半导体(无锡)有限公司,成立于2019年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,黑曼巴半导体(无锡)有限公司专利信息14条,此外企业还拥有行政许可3个。

来源:金融界

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