博世申请传感器组件专利，降低玻璃基座和本体之间的机械应力
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2025-06-07 11:34:16
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金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“传感器组件”的专利，公开号CN120112477A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种具有微机械传感器元件和玻璃基座的传感器组件。所述微机械传感器元件具有本体、空穴和横跨所述空穴的膜。本体、空穴和膜由一种材料组成。所述玻璃基座具有贯穿开口。所述微机械传感器元件紧固在所述玻璃基座上，使得所述空穴与所述贯穿开口连接。所述微机械传感器元件在邻接到所述玻璃基座的过渡区域中具有卸载结构。所述卸载结构包含所述本体的凹空。所述卸载结构的几何形状选择为，使得降低玻璃基座和本体之间的机械应力。
来源：金融界
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