浙江大学温州研究院等申请基于自支撑外延氧化亚铜薄膜的应变传感器及其制备方法专利，制备出的应变传感器具有1.2％的最大应变量
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2025-06-11 13:09:07
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金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，浙江大学温州研究院、浙江大学、温州志感科技有限公司申请一项名为“一种基于自支撑外延氧化亚铜薄膜的应变传感器及其制备方法”的专利，公开号CN120120953A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于自支撑外延氧化亚铜薄膜的应变传感器及其制备方法。其制备方法包括采用利用脉冲激光沉积技术(pulsed laser deposition,PLD)在水溶性衬底上外延生长氧化亚铜薄膜，利用化学刻蚀法制备自支撑氧化亚铜薄膜，利用二维转移平台和电子束蒸发设备在聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene terephthalate,PET)衬底上制备出应变传感器。本发明制备出的应变传感器具有1.2％的最大应变量，以及120的应变灵敏度。

来源：金融界

方法 显示 温州 薄膜 pulsed 氧化亚铜 外延 传感器 专利 应变 应变量 衬底 应变传感器

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