中芯京城申请半导体结构的形成方法专利,降低产能损失
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2025-05-15 22:08:45
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金融界2025年5月15日消息,国家知识产权局信息显示,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号 CN119993828A,申请日期为 2023年11月。

专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底;在衬底上形成栅极结构;在栅极结构侧壁形成第一侧墙;采用第一低温离子注入工艺,在栅极结构两侧形成非晶区,第一低温离子注入工艺的机台温度设为‑30℃~‑80℃;在非晶区形成轻掺杂区;在第一侧墙的侧壁形成第二侧墙;采用第二低温离子注入工艺,在栅极结构两侧形成应力集中区,第二低温离子注入工艺的机台温度设为‑30℃~‑80℃;在应力集中区形成源漏掺杂区。通过将低温离子注入工艺的机台温度设定在‑30℃~‑80℃,有效降低了再次冷却硅片时的产能损失,而且能够有效减少冷却管路内部发生凝结问题,延长升至常温清除凝结的时间,进一步降低产能损失。另外将低温离子注入工艺的机台温度设在‑30℃~‑80℃,不会影响最终形成的半导体结构的性能。

天眼查资料显示,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司参与招投标项目34次,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可246个。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息149条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可443个。

来源:金融界

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