午芯芯科技申请一种电容式芯片结构专利，提供制造成本低的新型电容式芯片结构
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2025-06-13 16:08:42
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金融界2025年6月13日消息，国家知识产权局信息显示，午芯芯科技（辽宁省）有限公司申请一项名为“一种电容式芯片结构”的专利，公开号CN120141692A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，一种电容式芯片结构属于微机电系统(MEMS)技术领域，尤其涉及一种电容式芯片结构。本发明提供一种制造成本低的新型电容式芯片结构。本发明包括上极板(02)、下极板(01)和衬底(11)，下极板(01)设置在衬底(11)上,上极板(02)与下极板(01)之间为腔体(05),上极板(02)与下极板(01)周边之间通过第一介质层(03)相连,第一介质层(03)为腔体(05)的侧壁,其特征在于上极板(02)为感压极板，上极板(02)与下极板(01)形成感压可变电容。

天眼查资料显示，午芯芯科技（辽宁省）有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，午芯芯科技（辽宁省）有限公司共对外投资了1家企业，专利信息5条。

来源：金融界

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