填补微型发光二极管晶圆无损测试技术空白_电子技术

填补微型发光二极管晶圆无损测试技术空白

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2025-06-24 07:37:16

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本报讯（记者陈欣然通讯员梁绍楠）微型LED（发光二极管）被广泛认为是下一代高端显示技术的核心元件，而如何实现微型LED晶圆从生产到终端集成的全过程良率检测，一直是困扰业界的难题，也阻碍了基于微型LED的终端产品如大面积显示屏、柔性显示屏的量产。近日，天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室、精仪学院感知科学与工程系黄显团队打破微型LED晶圆测试瓶颈，实现微型LED晶圆高通量无损测试，研究成果日前在电气领域顶级期刊《自然—电子学》刊发。

研究团队首次提出了一种基于柔性电子技术的巨量LED晶圆的无损接触式电致发光检测方法，该方法构建了包含弹性微柱阵列和可延展柔性电极阵列堆叠的三维结构柔性探针阵列。该研究在柔性电子与半导体测试领域取得了关键突破，打破了微型LED大规模电致发光检测的技术瓶颈，首创微型LED晶圆高通量、无损检测技术，实现了微型LED电致发光检测技术从零到一的突破，为其他复杂晶圆如CPU、FPGA检测提供了革命性技术方案。

该技术已在天开园核心区成立的万柔科技和孚莱感知半导体公司开启产品化进程，未来将为国内微型LED产业提供批量化、无损、低成本的检测解决方案，推动我国自主知识产权的原创性先进检测装备达到世界领先水平，进一步拓展了柔性电子技术的应用领域。该项技术也为面向AR/VR等应用场景的高良率面板制程奠定了基础，随着探针阵列规模与检测通道的持续拓展，未来或将在晶圆级集成检测、生物光子学等领域产生更广泛影响。

《中国教育报》2025年06月24日第02版

作者：记者陈欣然通讯员梁绍楠

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