国林科技：子公司现有半导体级超纯臭氧气体发生器等产品
创始人
2025-06-27 20:10:31
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证券之星消息，国林科技(300786)06月27日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问：公司涉及到半导体领域的电子级化学品和电子级特种气体的生产设备有哪些？
国林科技回复：尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体现有产品包括：半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品。感谢您的关注。
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