中微半导体申请冷却液供应系统和等离子处理器专利，使冷却液供应系统长期稳定运行_电子技术

中微半导体申请冷却液供应系统和等离子处理器专利，使冷却液供应系统长期稳定运行

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2025-06-29 00:38:28

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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种冷却液供应系统和一种等离子处理器”的专利，公开号CN120221434A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开一种用于控制基座温度的冷却液供应系统，所述冷却液供应系统包括两个三通阀门，分别控制输出冷却液流量比例和回流冷却液流量比例，还包括两个旁路阀实现输出和回流的冷却液流量稳定。本发明通过三个控制回路分别独立控制输出到基座的冷却液温度、两个冷却液容器的输出冷却液流量和回流到两个冷却液容器的流量，最终使得整个冷却液供应系统能够长期稳定的运行，可以在零部件的选用上具有灵活性。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目66次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1486条，此外企业还拥有行政许可72个。

来源：金融界

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