中芯国际申请半导体结构的形成方法专利,提升工艺稳定性
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2025-07-05 12:08:45
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金融界2025年7月5日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯京城集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号CN120261264A,申请日期为2024年01月。

专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:提供基板,具有相对的第一面与第二面,基板内具有若干互连结构,第二面暴露出互连结构;在基板的第二面形成冷却沟槽;在冷却沟槽内形成填充层,第二面暴露出填充层表面;在第二面和填充层表面形成初始第一保护层;在形成初始第一保护层后,去除冷却沟槽表面的部分初始第一保护层,直至暴露出填充层的部分表面,形成第一保护层;在形成第一保护层后,去除填充层。一方面,第一保护层选择断裂韧性大的材料,可使得第一保护层在晶圆切割的工艺流程中不会破碎而损坏基板,提升了工艺稳定性;另一方面,填充层仅起占位作用,去除填充层后的冷却沟槽为空腔结构,为后续液体冷却提供结构基础,满足半导体结构散热需求。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目52次,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可226个。

中芯京城集成电路制造(北京)有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯京城集成电路制造(北京)有限公司参与招投标项目35次,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可248个。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可442个。

来源:金融界

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