苏州鼎芯光电申请用于甲烷探测的芯片制备方法等专利，提高加热效率
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2025-07-07 12:41:13
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金融界2025年7月7日消息，国家知识产权局信息显示，苏州鼎芯光电科技有限公司申请一项名为“一种用于甲烷探测的芯片制备方法、甲烷探测器”的专利，公开号CN120253666A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于甲烷探测的芯片制备方法、甲烷探测器，其中，芯片制备方法包括：在衬底表面生长外延结构，得到外延片；在外延片上制作光栅掩膜，并在光栅掩膜腐蚀出光栅结构；对光栅结构进行光栅掩埋和欧姆接触层生长，得到光栅片；在光栅片上沉积掩膜，经处理后再腐蚀至腐蚀截止层，去除掩膜，得到脊型波导的晶圆；在晶圆的表面沉积第一钝化层，在第一钝化层上制作加热模块，去除脊型波导顶端的第一钝化层以露出欧姆接触层，在欧姆接触层上蒸镀金属电极，并形成激光器焊盘，最后对外延片进行处理以形成芯片。本发明的另一种方法还能只集成加热器。本发明能够提高加热效率和降低功耗。
天眼查资料显示，苏州鼎芯光电科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2104.3861万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州鼎芯光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目16次，专利信息35条，此外企业还拥有行政许可13个。
来源：金融界
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