温州核芯智存申请一种大容量铁电电容、存储阵列及其制备方法专利，扩大了铁电电容面积 15～50％
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2025-05-17 22:35:56
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金融界 2025 年 5 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，温州核芯智存科技有限公司申请一项名为“一种大容量铁电电容、存储阵列及其制备方法”的专利，公开号 CN119997514A，申请日期为 2025 年 2 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种大容量铁电电容及大容量铁电电容存储阵列制备方法，包括金属过孔，以及于其末端开设的空洞区；所述空洞区内壁敷设有阻隔层；所述阻隔层和所述金属过孔内壁依次沉积有电容材料。所述铜垫绕组顶层均接触所述金属过孔。在晶圆上开设接有铜垫绕组的半导体，于绕组末端制备电容孔；将绕组末层铜垫内的铜刻蚀，保留外部阻隔层。在不增加电容制备深孔深宽比的情况下，扩大了铁电电容面积 15～50％，且解决了现有工艺中由于反应源导致的降落垫空洞而可能引起的电路断路问题，完善了电容发挥效能的结构状态。
天眼查资料显示，温州核芯智存科技有限公司，成立于2022年，位于温州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本637.5万人民币。通过天眼查大数据分析，温州核芯智存科技有限公司参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息42条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
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