纳微半导体申请远程等离子源前级降压装置及方法专利，显著降低开关损耗
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2025-08-18 17:53:26
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金融界2025年8月18日消息，国家知识产权局信息显示，纳微半导体科技（合肥）有限公司申请一项名为“一种远程等离子源前级降压装置及方法”的专利，公开号CN120498255A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明公开了一种远程等离子源前级降压装置及方法，属于半导体制造技术领域。针对传统工频变压器体积大、效率低、动态响应慢的问题，本发明通过高频直流变换器与零电压开通ZVS技术实现高效电压转换。装置包括整流滤波模块、高频电感模块、直流转换模块及控制模块；通过分时控制六个工作模态，利用反并联二极管与寄生电容的协同作用，实现MOS管的零电压开通，显著降低了开关损耗。本发明适用于半导体制造中远程等离子源的高效供电，具有紧凑化、高可靠性和低成本的优势。

来源：金融界

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