金融界2025年8月18日消息,国家知识产权局信息显示,纳微半导体科技(合肥)有限公司申请一项名为“一种远程等离子源前级降压装置及方法”的专利,公开号CN120498255A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明公开了一种远程等离子源前级降压装置及方法,属于半导体制造技术领域。针对传统工频变压器体积大、效率低、动态响应慢的问题,本发明通过高频直流变换器与零电压开通ZVS技术实现高效电压转换。装置包括整流滤波模块、高频电感模块、直流转换模块及控制模块;通过分时控制六个工作模态,利用反并联二极管与寄生电容的协同作用,实现MOS管的零电压开通,显著降低了开关损耗。本发明适用于半导体制造中远程等离子源的高效供电,具有紧凑化、高可靠性和低成本的优势。
来源:金融界