格科半导体申请一种研磨剂分配臂、半导体制造设备及控制方法专利,可存储回流的研磨剂
创始人
2025-08-19 01:39:03
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金融界2025年8月18日消息,国家知识产权局信息显示,格科半导体(上海)有限公司申请一项名为“一种研磨剂分配臂、半导体制造设备及控制方法”的专利,公开号CN120480812A,申请日期为2025年06月。

专利摘要显示,本发明公开了一种研磨剂分配臂、半导体制造设备及控制方法,研磨剂分配臂包括主体和支架,主体内部构造有管路系统,管路系统包括第一管路、第二管路、第三管路、第一循环管路和存储箱,第一管路的一端连通至半导体制造设备的过滤盒;第二管路的一端作为使研磨剂从研磨剂分配臂流出的流出端;第三管路用于连通第一管路和第二管路,第三管路和第二管路之间设置有开关,第一循环管路一端连通至开关与第三管路的连接处,另一端连通至第一管路与第三管路的连接处,用于与第三管路并联形成循环回路;存储箱设置在第一循环管路中,用于存储回流的研磨剂;支架设置在主体下端,用于支撑主体;支架内部设置有驱动机构,用于驱动主体相对于支架转动。

来源:金融界

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