格科半导体申请一种研磨剂分配臂、半导体制造设备及控制方法专利，可存储回流的研磨剂
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2025-08-19 01:39:03
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金融界2025年8月18日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种研磨剂分配臂、半导体制造设备及控制方法”的专利，公开号CN120480812A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明公开了一种研磨剂分配臂、半导体制造设备及控制方法，研磨剂分配臂包括主体和支架，主体内部构造有管路系统，管路系统包括第一管路、第二管路、第三管路、第一循环管路和存储箱，第一管路的一端连通至半导体制造设备的过滤盒；第二管路的一端作为使研磨剂从研磨剂分配臂流出的流出端；第三管路用于连通第一管路和第二管路，第三管路和第二管路之间设置有开关，第一循环管路一端连通至开关与第三管路的连接处，另一端连通至第一管路与第三管路的连接处，用于与第三管路并联形成循环回路；存储箱设置在第一循环管路中，用于存储回流的研磨剂；支架设置在主体下端，用于支撑主体；支架内部设置有驱动机构，用于驱动主体相对于支架转动。
来源：金融界
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