艾华半导体申请ALD设备工作模式无缝切换专利，可有效避免时间浪费
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2025-05-19 18:32:00
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金融界2025年5月19日消息，国家知识产权局信息显示，艾华（无锡）半导体科技有限公司申请一项名为“一种ALD设备基于舟状态的工作模式无缝切换方法”的专利，公开号CN119980204A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明是一种ALD设备基于舟状态的工作模式无缝切换方法，包括以下步骤：1）将金属舟设定为单装、复合和单卸三种状态；2）确定各状态金属舟与花篮的对应关系；3）根据金属舟的排布将需要的花篮数量、种类按照顺序写入数据存储区中，金属舟按顺序组成队列，各金属舟对应的花篮按顺序组成队列；4）花篮抓手抓取数据存储区中花篮队列0位置对应的花篮，抓取完成后，将0位置的花篮数据删除，后续位置的花篮数据整体往前挪一格；5）后续进来的新金属舟按照对应关系，将需要的花篮排列在花篮队列的末尾，以此循环。本发明的优点：无需切换模式，可应对任意类型的金属舟的排列方式，可无缝切换，无等待时间，可有效避免时间浪费，提高设备产能。

天眼查资料显示，艾华（无锡）半导体科技有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本7400万人民币。通过天眼查大数据分析，艾华（无锡）半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息55条，此外企业还拥有行政许可14个。

来源：金融界

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