艾华半导体申请ALD设备工作模式无缝切换专利,可有效避免时间浪费
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2025-05-19 18:32:00
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金融界2025年5月19日消息,国家知识产权局信息显示,艾华(无锡)半导体科技有限公司申请一项名为“一种ALD设备基于舟状态的工作模式无缝切换方法”的专利,公开号CN119980204A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明是一种ALD设备基于舟状态的工作模式无缝切换方法,包括以下步骤:1)将金属舟设定为单装、复合和单卸三种状态;2)确定各状态金属舟与花篮的对应关系;3)根据金属舟的排布将需要的花篮数量、种类按照顺序写入数据存储区中,金属舟按顺序组成队列,各金属舟对应的花篮按顺序组成队列;4)花篮抓手抓取数据存储区中花篮队列0位置对应的花篮,抓取完成后,将0位置的花篮数据删除,后续位置的花篮数据整体往前挪一格;5)后续进来的新金属舟按照对应关系,将需要的花篮排列在花篮队列的末尾,以此循环。本发明的优点:无需切换模式,可应对任意类型的金属舟的排列方式,可无缝切换,无等待时间,可有效避免时间浪费,提高设备产能。

天眼查资料显示,艾华(无锡)半导体科技有限公司,成立于2019年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本7400万人民币。通过天眼查大数据分析,艾华(无锡)半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息7条,专利信息55条,此外企业还拥有行政许可14个。

来源:金融界

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