研微（江苏）半导体申请基于矩阵匹配图的阻抗匹配方法和系统专利，显著提升半导体工艺过程的稳定性和可靠性
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2025-05-21 13:05:35
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金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，研微（江苏）半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统”的专利，公开号CN120016995A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，更具体地说，涉及一种基于矩阵匹配图的阻抗匹配的方法和系统。本发明的方法包括以下步骤：启动射频电源，设置一匹配值作为初始点；配置以初始点为扫描起点的矩阵；启动矩阵扫描操作记录对应的反射功率和输出频率值作为对应矩阵位置的元素值；基于所有的矩阵元素值数据生成矩阵匹配图；对每一个元素值数据进行判断，如果满足条件则将当前元素值数据作为预选匹配值；对每一个预选匹配值进行判断，如果满足最佳匹配条件则将当前的预选匹配值作为最佳匹配值。
天眼查资料显示，研微（江苏）半导体科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2799.8133万人民币。通过天眼查大数据分析，研微（江苏）半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可10个。
来源：金融界
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