北方华创申请承载装置和半导体工艺腔室专利，解决半导体工艺腔室去耦合等离子氮化工艺均匀性较差问题
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2025-05-22 19:05:39
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金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置和半导体工艺腔室”的专利，公开号CN120020993A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本申请公开一种承载装置和半导体工艺腔室，所述承载装置包括支撑座、承载件和第一驱动组件；所述承载件用以支撑待加工件；所述第一驱动组件包括相互配合的磁悬浮定子和磁悬浮转子，所述磁悬浮定子套设于所述磁悬浮转子外，且所述磁悬浮定子和所述磁悬浮转子均安装于所述支撑座，所述磁悬浮转子用于支撑所述承载件，所述磁悬浮定子用于驱动所述磁悬浮转子旋转以带动所述承载件绕所述承载件的轴线转动。上述承载装置可以解决目前半导体工艺腔室进行去耦合等离子氮化工艺时，受抽气组件偏置的情况，导致工艺的均匀性相对较差的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1044次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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