朗姆研究申请用于加热器基座的电阻丝专利，实现基座内部与外部不同的电阻温度系数
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2025-12-09 16:07:21
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于加热器基座的电阻丝”的专利，公开号CN121100398A，申请日期为2024年4月。专利摘要显示，本发明的各种实施方案涉及用于半导体处理的基座，以及它们的用途和制造的方法。在一些实施方案中，一种用于在处理期间支撑半导体衬底的基座包含：主体，其具有内部部分和围绕该内部部分的外部部分；内电阻丝，其位于该主体的该内部部分内，该内电阻丝具有第一电阻温度系数(TCR)；以及外电阻丝，其位于该主体的该外部部分内，该外电阻丝具有第二TCR，其中该第二TCR不同于该第一TCR。
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来源：市场资讯
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