北京集成电路装备创新中心申请半导体工艺腔室及设备专利，提高半导体工艺腔室的产能
创始人
2025-12-27 16:07:34
0次
国家知识产权局信息显示，北京集成电路装备创新中心有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及设备”的专利，公开号CN121204611A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺腔室及设备，涉及半导体技术领域。该半导体工艺腔室包括腔室本体、承载组件、加热组件和冷却组件，其中，腔室本体内部具有腔体；承载组件设于腔体内，承载组件配置为：承载基片；加热组件设于腔体内并围设于承载组件，加热组件配置为：加热承载于承载组件的基片；冷却组件具有进气口和出气口，出气口位于腔体内，且出气口配置为：朝向加热组件吹送冷却气体，以对加热组件进行冷却降温。该半导体工艺腔室中的冷却组件能够对加热组件进行有效冷却，以减少冷却耗时，提高半导体工艺腔室的产能。
天眼查资料显示，北京集成电路装备创新中心有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1113950万人民币。通过天眼查大数据分析，北京集成电路装备创新中心有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息77条，此外企业还拥有行政许可6个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
许继仪表申请一种电源电路系统专...
国家知识产权局信息显示，河南许继仪表有限公司申请一项名为“一种电源电路系统”的专利，公开号CN121...
霍尔开关选型认准无锡华芯晟科技...
在电子元器件的广阔领域中，霍尔开关凭借其独特的性能和广泛的应用，成为了众多行业不可或缺的关键组件。无...
创维光电申请空气质量检测系统及...
国家知识产权局信息显示，创维光电科技（深圳）有限公司申请一项名为“空气质量检测系统及一体机”的专利，...
云知声申请基于医患对话的电子病...
国家知识产权局信息显示，云知声智能科技股份有限公司、首都医科大学附属北京友谊医院申请一项名为“基于医...
苏州华太电子申请无源器件及相关...
国家知识产权局信息显示，苏州华太电子技术股份有限公司申请一项名为“无源器件及其制备方法、封装结构、集...
德辉电子取得便拆式电动球阀专利...
国家知识产权局信息显示，广东德辉电子设备有限公司取得一项名为“一种便拆式电动球阀”的专利，授权公告号...
北京集成电路装备创新中心申请半...
国家知识产权局信息显示，北京集成电路装备创新中心有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及设备”的专利，...
猎动科技取得智能手表运动传感器...
国家知识产权局信息显示，深圳市猎动科技有限公司取得一项名为“智能手表的运动传感器减震安装结构”的专利...
通用汽车申请包括双侧直流链路电...
国家知识产权局信息显示，通用汽车环球科技运作有限责任公司申请一项名为“包括双侧直流链路电容器系统的电...
威海瑞渡电子取得可弯折定型数据...
国家知识产权局信息显示，威海瑞渡电子有限公司取得一项名为“一种可弯折定型数据连接线”的专利，授权公告...