芯链半导体申请用于光罩的静电释放检测结构专利，从根源上解决光罩电荷累积过多导致损坏的问题_电子技术

芯链半导体申请用于光罩的静电释放检测结构专利，从根源上解决光罩电荷累积过多导致损坏的问题

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2025-12-31 11:38:19

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国家知识产权局信息显示，绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种用于光罩的静电释放的检测结构、模拟系统及方法”的专利，公开号CN121231916A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于光罩的静电释放的检测结构、模拟系统及方法，涉及光罩技术领域。本发明包括基板、检测图形层和存储电路，所述检测图形层设置于基板顶面，所述检测图形层用于模拟光罩图形，所述检测图形层的形状与模拟的光罩图形相同，所述检测图形层用于模拟和检测静电释放数据，所述存储电路与检测图形层电连接，所述存储电路用于存储检测图形层检测到的静电释放数据。本发明通过检测结构上的测试图形层模拟光罩图形，检测人员可以通过存储电路的信息准确判断各设备对检测结构的静电累积情况，从而精准对对应设备进行调试，从根源上解决光罩电荷累积过多而在清洗时出现静电释放导致光罩损坏的问题。

天眼查资料显示，绍兴芯链半导体科技有限公司，成立于2022年，位于绍兴市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本11819.932144万人民币。通过天眼查大数据分析，绍兴芯链半导体科技有限公司参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可11个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

模拟系统检测绍兴根源导体电荷图形结构静电专利电路光罩

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