上海超硅半导体申请单晶硅生长装置及其制造方法专利,提升了单晶硅生长的稳定性和成功率
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2026-01-10 16:08:41
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国家知识产权局信息显示,上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司申请一项名为“单晶硅生长装置及其制造方法”的专利,公开号CN121295326A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及一种单晶硅生长装置及其制造方法。所述单晶硅生长装置包括:石墨坩埚,具有石墨容纳腔;石英坩埚,位于所述石墨容纳腔内,所述石英坩埚具有用于容纳硅熔体的石英容纳腔;石墨纸,位于所述石墨容纳腔内,且所述石墨纸分布于所述石墨容纳腔的内壁与所述石英坩埚之间。本发明减少了石英坩埚在生长单晶硅的过程中发生变形的问题,抑制了石英坩埚在高温下的过度蠕变,确保了单晶硅生长工艺顺利稳定的进行,并提升了单晶硅生长的稳定性和成功率,减少了因所述石英坩埚导致的断棱问题,并有助于提高石英坩埚的结构稳定性和使用寿命。

天眼查资料显示,上海超硅半导体股份有限公司,成立于2008年,位于上海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本117640.3602万人民币。通过天眼查大数据分析,上海超硅半导体股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目25次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息256条,此外企业还拥有行政许可193个。

重庆超硅半导体有限公司,成立于2014年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆超硅半导体有限公司参与招投标项目21次,专利信息163条,此外企业还拥有行政许可17个。

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来源:市场资讯

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