北方华创申请承载装置专利，解决半导体工艺腔室中至少部分承载舟回温慢的问题
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2026-01-19 19:38:41
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置、半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121344568A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种承载装置、半导体工艺腔室及半导体工艺设备，属于半导体工艺设备技术领域，所述的承载装置（100）包括舟加热件（140）以及在第一方向依次堆叠的底部承载舟（110）、中间承载舟（120）和顶部承载舟（130），所述舟加热件（140）设置在目标承载舟上，所述底部承载舟（110）、所述中间承载舟（120）和所述顶部承载舟（130）中的至少一者为所述目标承载舟。上述方案能解决背景技术中所述的半导体工艺腔室采用多个承载舟堆叠时至少部分承载舟回温慢的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1355次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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