上海悦匠申请半导体设备扰动预测与控制方法专利，得到前馈补偿曲线
创始人
2026-01-21 12:38:33
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国家知识产权局信息显示，上海悦匠实业有限公司申请一项名为“一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质”的专利，公开号CN121348928A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请提供一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质，方法包括：首先预设工艺指令与扰动事件之间的映射规则，在半导体设备运行过程中对工艺配方中的工艺指令进行解析；基于前瞻窗口机制筛选扰动指令，将扰动指令转化为扰动事件，并生成对应的扰动预测曲线；基于扰动预测曲线生成多个前馈补偿分量，并将前馈补偿分量进行叠加，得到综合前馈补偿控制量，将每一综合前馈补偿控制量映射至预测时间轴，得到前馈补偿曲线；基于温控系统的当前温度值与目标温度计算温度误差，并结合PID算法得到反馈控制量；将综合前馈补偿控制量与反馈控制量进行叠加，得到最终控制输出量，并将最终控制输出量发送至温控系统以驱动加热或冷却装置。
天眼查资料显示，上海悦匠实业有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海悦匠实业有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目26次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息46条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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