星昱传感科技申请MEMS谐振器及传感器专利，提供了一种体积较小的微机械系统谐振器以及传感器
创始人
2026-01-22 14:40:22
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国家知识产权局信息显示，星昱传感科技（嘉兴）有限公司申请一项名为“微机械系统谐振器以及传感器”的专利，公开号CN121367474A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种微机械系统谐振器以及传感器，该微机械系统谐振器包括衬底、输入信号端子、输出信号端子和多个谐振组件；每个谐振组件包括固定电极，设置于衬底上；振动电极，平行且悬空设置于固定电极远离衬底的一侧上方，所述电极在所述衬底上的正投影覆盖所述固定电极在所述衬底上的正投影；第一支撑结构，设置于衬底靠近所述振动电极的一侧并与所述振动电极连接。通过本申请提供了一种工艺简化、成本较低、器件质量小、器件体积小以及所需激励电平小的微机械系统谐振器以及传感器。
天眼查资料显示，星昱传感科技（嘉兴）有限公司，成立于2024年，位于嘉兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本387.5万人民币。通过天眼查大数据分析，星昱传感科技（嘉兴）有限公司共对外投资了1家企业，专利信息2条。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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