北方华创申请晶舟及半导体工艺设备专利，提高工艺气体的均匀性
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2026-01-29 00:40:10
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种晶舟及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121419585A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶舟及半导体工艺设备，晶舟包括：支架，支架上设置有多层沿支架的长度方向排列的承载部，每一层承载部用于承载一个晶圆；与承载部一一对应的匀气件，匀气件与支架连接，并与对应的承载部相对设置，匀气件内设有第一空腔，匀气件朝向对应的承载部的一面设有与第一空腔连通的第一出气孔，匀气件上还设有第一进气孔；至少一个进气管，设置于支架上，每个进气管与所有匀气件的第一进气孔连通，用于向第一空腔通入工艺气体。本申请通过设置匀气件，使得进气时工艺气体由匀气件直接流过晶圆的表面，可以缩短匀气时间，提高工艺气体利用率，提高工艺气体的均匀性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1364次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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