中信证券独家保荐等离子体射频电源系统龙头恒运昌登陆科创板_电子技术

中信证券独家保荐等离子体射频电源系统龙头恒运昌登陆科创板

创始人

2026-01-29 02:09:58

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2026年1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌，688785.SH）完成首次公开发行股票并在科创板上市。本次发行规模15.61亿元，中信证券担任独家保荐机构和主承销商。

深耕等离子体射频电源系统领域

打造半导体装备核心零部件平台

恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统是半导体装备中最核心、研发难度最大、技术壁垒最高的零部件之一，其性能直接决定芯片刻蚀与薄膜沉积设备的工艺能力及产品良率，2024年国产化率不足12%。

恒运昌凭借十余年技术攻坚，成功打破海外垄断格局，其自主研发的产品性能已达到国际先进水平，已实现射频电源系统前道制程应用领域的全覆盖，并批量交付多家国产半导体装备龙头企业，为中芯国际、长江存储等晶圆厂提供原位替换及维修服务，在国产射频电源领域中市场份额位列第一。

中信证券积极服务硬科技企业

助力半导体装备供应链安全韧性

中信证券积极践行金融服务国家战略和实体经济，深度布局半导体装备及核心零部件产业，基于对行业的深刻理解，凭借强大的投行专业服务能力，高效推动项目执行。此次助力恒运昌成功上市，是中信证券服务硬科技企业的又一标杆案例。

中信证券将继续以专业服务践行金融报国使命，为我国半导体装备供应链安全和高水平科技自立自强贡献金融力量。

恒运昌

（股票代码：688785.SH)

恒运昌作为国内领先的半导体装备所需等离子体射频电源系统零部件供应商，产品批量交付国内龙头装备厂商，包括拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等，并配套服务中芯国际、长江存储等国内头部晶圆厂。恒运昌已承担三项国家重大专项课题，并将持续致力于半导体装备核心零部件的研发生产，为国家集成电路装备产业解决卡脖子问题贡献力量。

(中信证券动态宝)

装备产品电源服务龙头保荐等离子体系统导体零部件中芯国际半导体恒运昌中信证券

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