同和电子申请AlN模板基板及其制造方法专利，改善AlN模板基板的特性
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2026-01-29 13:40:10
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国家知识产权局信息显示，同和电子科技有限公司申请一项名为“AlN模板基板及其制造方法”的专利，公开号CN121420099A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，改善AlN模板基板的特性。本发明的AlN模板基板的特征在于具有形成于蓝宝石基板的主面上的AlN层，蓝宝石基板的主面是C面以0.02°以上且小于0.35°的偏离角倾斜的面，将AlN层的表面的AFM图像内的台阶的棱线与AFM图像的一侧边缘的第1接点及另一侧边缘的第2接点连结的直线距离、除以从第1接点延续至第2接点的台阶的棱线的长度而得到的台阶直线率为90%以上。
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