苏州中熙精密电机申请半导体晶圆生产质量评估方法及系统专利，提高评估的精准度_电子技术

苏州中熙精密电机申请半导体晶圆生产质量评估方法及系统专利，提高评估的精准度

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2026-01-29 15:41:04

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国家知识产权局信息显示，苏州中熙精密电机有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆生产质量评估方法及系统”的专利，公开号CN121414228A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及一种半导体晶圆生产质量评估方法及系统，涉及晶圆质量评估的技术领域，其中，半导体晶圆生产质量评估方法包括数据采集与处理、质量指标量化、综合评估、质量等级判断等步骤；半导体晶圆生产质量评估系统包括采集模块、处理模块、计算模块、判断模块以及输出模块；本发明通过对晶圆的各项特征数据进行参数融合，通过具体的计算方法对晶圆的质量进行评估，进而提高评估的精准度，并在关键工艺节点（如抛光后、外延生长后）即时执行。当某一数据指数（如SA）出现连续下滑趋势，但尚未跌破合格线时，系统即可向工艺工程师发出早期预警。

天眼查资料显示，苏州中熙精密电机有限公司，成立于2011年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州中熙精密电机有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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