山东华信电炉取得半导体硅晶制备用熔炼装置专利,提升硅料熔炼速度和均匀度
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2026-02-04 21:41:43
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国家知识产权局信息显示,山东华信电炉有限公司取得一项名为“半导体硅晶制备用熔炼装置”的专利,授权公告号CN223866818U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体硅晶制备用熔炼装置,包括炉壳,炉壳内腔中部安装有石英坩埚,石英坩埚外围依次设置有石墨发热体和感应线圈,石英坩埚底部安装有可升降的托板,托板内部设有呈圆周分布的多个冷却通道,托板底部与空心主轴相连接,空心主轴沿竖直方向贯穿炉壳底部设置;炉壳下方固定安装有减速机,空心主轴沿竖直方向穿设在减速机内,减速机的正下方设置有升降台,升降台内部设有用于安装空心主轴底部轴头的转动支撑件,升降台与减速机之间安装有液压缸和滑杆。本实用新型可以使硅料在动态旋转的石英坩埚内实现熔炼,石英坩埚在旋转过程中各个部分都会接触到外部的热量源,有助于热量的均匀吸收和分布,提升硅料熔炼速度和均匀度。

天眼查资料显示,山东华信电炉有限公司,成立于2011年,位于潍坊市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,山东华信电炉有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目49次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息108条,此外企业还拥有行政许可4个。

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来源:市场资讯

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