华芯半导体申请适用于气体反应腔的流量验证多路复用器专利，有利于提高调试效率_电子技术

华芯半导体申请适用于气体反应腔的流量验证多路复用器专利，有利于提高调试效率

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2026-02-07 18:14:54

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国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“适用于气体反应腔的流量验证多路复用器及流量控制系统”的专利，公开号CN121477997A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请实施例公开了一种适用于气体反应腔的流量验证多路复用器及流量控制系统。流量验证多路复用器包括拨码开关模块、工作使能模块、使能控制模块、路径使能模块及信号控制模块。使能控制模块输出调试使能信号或者输出工作使能信号。路径使能模块响应于调试使能信号或工作使能信号，选通第一信号输出路径。信号控制模块响应于阀门控制信号，输出阀门驱动信号。由于使能控制模块初始工作在调试模式，本申请实施例可以直接将调试模式信号作为调试使能信号进行输出，进而使得路径使能模块选通第一信号输出路径以传输阀门驱动信号，如此可避免气体质量流量验证模块频繁与终端总控模块进行交互进行切换关于次级阀门的控制权，有利于提高调试效率。

天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息28条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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