京仪装备获得实用新型专利授权：“一种半导体制程废气处理装置”_电子技术

京仪装备获得实用新型专利授权：“一种半导体制程废气处理装置”

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2026-02-13 04:39:35

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体制程废气处理装置”，专利申请号为CN202422730880.X，授权日为2026年2月13日。

专利摘要：本实用新型一种半导体制程废气处理装置，包括燃烧器、火焰发生装置、第一进气装置、吹扫装置和第二进气装置；燃烧器设置有燃烧腔，第一进气装置和吹扫装置设置在燃烧器两侧，第一进气装置向燃烧腔输入废气，吹扫装置吹向输入燃烧器内部的废气，第二进气装置设置在燃烧器上向燃烧腔输入空气；火焰发生装置设置在燃烧器上，第一进气装置的第一出气口朝向火焰发生装置的火焰的高温区倾斜设置。本申请的半导体制程废气处理装置通过改变目前机台的进气方向，由侧入式改为偏入式，即通过第一进气装置输入的废气对准火焰的中下部，即火焰的高温区，使得输入的废气与火焰的高温区直接接触，不仅能够保证废气的充分燃烧，也能提高机台的废气处理效率。

今年以来京仪装备新获得专利授权8个，较去年同期增加了166.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了7240.02万元，同比增61.93%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目102次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息543条，著作权信息63条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

装备京仪半导装置处理体制火焰燃烧器废气专利

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