诺思罗普·格鲁曼申请用于测量电压的方法和装置专利，使用微机电系统测量电压
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2025-05-27 08:37:23
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金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司申请一项名为“用于测量电压的方法和装置”的专利，公开号CN120051690A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，一种使用微机电系统、即MEMS(100)测量电压的方法，该微机电系统包括：样品质量块(110)，其借助机械弹簧元件(120)以可以沿着振动方向(x)相对于基板移动的方式支撑在基板上方；修调电极(130)，其适于在被施加电压时在样品质量块(110)上产生静电力，该静电力抵抗当样品质量块(110)沿着振动方向(x)偏移时由弹簧元件(120)产生的机械弹簧力；驱动电极(140)，其适于将样品质量块(110)置于沿着振动方向(x)的运动中；以及读出电极(150)，其适于测量样品质量块(110)的以这种方式产生的振动的振动频率，该方法包括：向修调电极(130)施加待测量的电压；从样品质量块(110)的测量的振动频率测量待测量的电压的大小；以及基于测量的振动频率的变化来检测待测量的电压的变化。
来源：金融界
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