MKS申请具有高动态范围的脉冲射频电浆产生器专利，多个功率放大器输出串联迭加产生输出电压
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2026-02-17 19:22:47
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国家知识产权局信息显示，MKS股份有限公司申请一项名为“具有高动态范围的脉冲射频电浆产生器”的专利，公开号CN121532849A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，一种功率产生器，其具有第一多个功率放大器，每个功率放大器被配置为接收第一公共供应电压并输出多个离散直流电压。多个离散直流电压中的至少一个离散直流电压可以透过改变第一公共供应电压来改变。此射频功率产生器还可以包括第二多个功率放大器，其接收与第一供应电压不同的第二公共供应电压或不同供应电压。多个离散直流电压中的至少一个离散直流电压可以透过改变第二公共供应电压或不同供应电压来改变。每个功率放大器的输出串联迭加，以产生用于功率产生器的输出电压。多个功率放大器中的一个功率放大器在第一时间被致动或停用，而多个功率放大器中的另一个功率放大器在第二时间被致动或停用。
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来源：市场资讯
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