芯联微电子申请OPC修正方法及系统、版图专利,提高光罩制作的合格率
创始人
2026-03-07 21:43:06
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国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“OPC修正方法及系统、版图”的专利,公开号CN121613671A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供了一种OPC修正方法及系统、版图,属于半导体领域。该OPC修正方法包括提供一版图,所述版图包括多个金属层图形;对所述切分线段进行OPC修正,将所述第一线边片段向外扩张至所述边角的外围,将所述第二线边片段和第三线边片段内缩至所述线条图形的内部。本发明通过对切分线段进行OPC修正,将第一线边片段向外扩张至边角的外围,将第二线边片段和第三线边片段内缩至所述线条图形的内部。在采用OPC修正之后的图形制作光罩时,可以增加相邻两个光罩之间的距离,从而能够避免光罩制作会受到制作工艺条件的制约,避免光罩产生缺陷,提高光罩制作的合格率。

天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目931次,专利信息251条,此外企业还拥有行政许可12个。

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来源:市场资讯

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