卡尔蔡司显微镜申请电子束显微镜专利，提高电子检测效率
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2026-03-11 19:45:01
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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“电子束显微镜”的专利，公开号CN121641790A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，提供了电子束显微镜，其包括电子束源（5）、物镜（25）和电子检测器（37）。电子检测器（37）包括闪烁体布置（76），该闪烁体布置被布置在电子束源（5）与物体位置（35）之间，以使得在物体（21）处生成的电子（81）入射到闪烁体本体（77）上，该闪烁体本体由闪烁体材料形成，该闪烁体材料由入射电子（81）生成光（83）。电子检测器（37）还包括光检测器（91）和光学元件（87），该光检测器用于检测由闪烁体本体（77）生成的光（83），该光学元件包括光学有效表面（85），该光学有效表面被布置在闪烁体布置（76）与物体位置（35）之间，以及被布置在闪烁体本体（77）与光检测器（91）之间，处于由光检测器（91）检测到的光（83）的束路径上。
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