中微半导体申请电路板保护装置及半导体处理设备专利，可以有效降低电路板的故障率和返修率
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2026-03-14 23:26:49
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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种电路板保护装置及半导体处理设备”的专利，公开号CN121665432A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开一种电路板保护装置及半导体处理设备，电路板设置于一反应腔的外部，反应腔中可施加射频信号；所述电路板保护装置包括：金属箱体，位于所述反应腔的外部，用于容置所述电路板；低通滤波器，其设置于所述金属箱体上，其输入端与所述反应腔内的受控部件电连接，其输出端与所述电路板电连接；所述低通滤波器用于抑制所述射频信号对所述电路板产生的传导干扰。本发明可以有效降低电路板的故障率和返修率。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1654条，此外企业还拥有行政许可77个。
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来源：市场资讯
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