中微公司获得发明专利授权：“等离子体约束环、等离子体处理设备及处理半导体的方法”
创始人
2026-03-23 12:13:40
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体约束环、等离子体处理设备及处理半导体的方法”，专利申请号为CN202110723909.X，授权日为2026年3月20日。
专利摘要：本发明公开了一种等离子体约束环、等离子体处理设备及处理半导体的方法，所述等离子体约束环设置在等离子体处理设备的反应腔内，等离子体约束环包括环形侧壁和与环形侧壁固定连接的气体通道壁；环形侧壁放置于支撑环上，支撑环与反应腔的侧壁固定；隔热缝隙，其设置在环形侧壁中，用于减慢热量从气体通道壁向反应腔的侧壁传递。本发明使得等离子约束环的温度达到预设的温度并保持，由此实现防止聚合物沉积的目的。
今年以来中微公司新获得专利授权35个，较去年同期减少了5.41%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1606条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。
数据来源：天眼查APP
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