天沐半导体申请一种半导体电镀的退火腔结构专利，晶圆表面退火效果的均匀性好
创始人
2026-03-26 16:20:49
0次
国家知识产权局信息显示，天沐半导体科技（江苏）有限公司申请一项名为“一种半导体电镀的退火腔结构”的专利，公开号CN121718970A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体电镀的退火腔结构，包括若干个上下设置的退火腔，每个退火腔的一侧开有出风口；均流通道设置在出风口的一侧，均流通道包括主体结构、排气接口和晶圆进出通道；主体结构的内部具有腔体；排气接口与腔体的一端相通；晶圆进出通道设置在主体结构的中部并与出风口相通，晶圆进出通道内对应的腔体的上方和下方设有与腔体相通的均流孔；每个排气接口与分支管道相通；若干个分支管道并联设置在排气管道上。本发明从退火腔排出的气体从均流孔流入腔体，气体再汇流至排气接口后从排气管道排出，腔室内的气体流出的流量均匀，晶圆表面退火效果的均匀性好；分支管道内均设有调节阀使得上下层腔室的退火效果一致。
天眼查资料显示，天沐半导体科技（江苏）有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1527.777438万人民币。通过天眼查大数据分析，天沐半导体科技（江苏）有限公司专利信息3条，此外企业还拥有行政许可2个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
3月26日西部超导现246.9...
证券之星消息，3月26日西部超导发生大宗交易，交易数据如下： 大宗交易成交价格75.75元，相对当日...
华虹半导体(01347.HK)...
格隆汇3月26日丨华虹半导体(01347.HK)发布公告，董事会建议将公司的中文名称由“华虹半导体有...
为巩固PCB刀具主业地位，鼎泰...
在人工智能（AI）浪潮的强劲驱动下，PCB（印制电路板）产业链正迎来新一轮高景气周期。作为产业链上游...
亿联网络获得发明专利授权：“整...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示亿联网络（300628）新获得一项发明专利授权，专利名为“整机...
宏昌科技获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示宏昌科技（301008）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
海尔智家获得外观设计专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示海尔智家（600690）新获得一项外观设计专利授权，专利名为“...
股票行情快报：波长光电（301...
证券之星消息，截至2026年3月26日收盘，波长光电(301421)报收于82.9元，下跌2.95%...
湖北星辰技术申请半导体结构及其...
国家知识产权局信息显示，湖北星辰技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利，公开号CN...
科创板系列指数全线回调，半导体...
3 月 26 日，科创板市场整体震荡下行，板块呈现明显分化：半导体、光伏设备等赛道集体回调，锂电池板...
制程引领，独步行业！路维光电2...
2026年3月25日，2026上海国际半导体展览会在上海新国际博览中心盛大启幕。作为国内掩膜版领域的...